用途

?半導(dǎo)體、FPD

?真空鍍膜

?金屬、鋼鐵、產(chǎn)業(yè)機(jī)器

?醫(yī)療、化學(xué)、醫(yī)藥品、食品

?研究開發(fā)

型  號		RD1500	RD1510
吸氣口法蘭		150A JIS10KFF
額定排氣速度※1 (m3/h)	50Hz	1350
	60Hz	1630
容許壓力差 [使用標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)時] （kPa）	50Hz	7.0	19
	60Hz	7.0	16
極限壓力 (Pa)	單級滑閥泵為前級時	7×10-2
	雙極滑閥泵為前級時	1.3×10-2
前級泵的基本排氣速度 (m3/h)		220～450
轉(zhuǎn)速 (r/min)	50Hz	1500
	60Hz	1800
標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)功率 (kW)		5.5	11
油量 (L)		4.0
冷卻水量※2 (m3/h)		0.4
重量 (kg)	附帶全封閉式風(fēng)扇外置型電機(jī)	530	570
	無電機(jī)	460

※1：實(shí)際排氣速度根據(jù)使用的前級泵不同會有所變化，詳細(xì)請咨詢我司銷售人員。
※2：冷卻水最高溫度以30度為基準(zhǔn)。
容許的環(huán)境溫度：運(yùn)行時為+10℃～+40℃、保管時為-5℃～+60℃。
請將水排凈，以防保管真空泵時產(chǎn)生凍裂。