日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)

NLD干法刻蝕設(shè)備研發(fā)NLD-570

研發(fā)用NLD干法蝕刻 NLD-570是ULVAC原創(chuàng)開發(fā)的使用磁中性線等離子體（NLD）的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干法蝕刻裝置。

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