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日本ULVAC愛發(fā)科uGmni-200/300半導(dǎo)體濺射設(shè)備單晶圓復(fù)合 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體濺射設(shè)備單晶圓復(fù)合
日本ULVAC愛發(fā)科SV-200 SV-4540 SV-6040 大型設(shè)備濺射SV-9045 日本ULVAC愛發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045 SV系列是立式間歇式濺射裝置。 有磁盤壓模專用的SV-200，以及可處理大量基板的轉(zhuǎn)盤式。
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